產品展示
半自動探針臺(200 mm Semi-Auto Probe Station)

八英電動移動平臺

X-Y-Z-R移動行程分別為200mm/200mm/30mm/15degree

X-Y-Z移動精度1um;R:0.01degree

機臺由PC控制,軟件可以建立wafer map

系統可以根據工程人員建立的wafer map自動點針

系統可以搭配高倍顯微鏡和體式顯微鏡兩種光學系統

光學部分搭配100萬象素的數字CCD

系統具有自動校驗功能

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