產品展示
光發射顯微鏡

      光發射顯微鏡是器件分析過程中針對漏電失效模式,必不可少的分析工具。器件在設計、生產制造過程中有絕緣缺陷,或者期間經過外界靜電擊穿,均會造成器件漏電失效。漏電失效模式的器件在通電得狀態下,內部形成流動電流,漏電位置的電子會發生遷移,形成電能向光能的轉化,即電能以光能的方式釋放,從而形成200nm~1700nm紅外線。光發射顯微鏡主要利用紅外線偵測器,通過紅外顯微鏡探測到這些釋放出來的紅外線,從而精準的定位到器件的漏電點。我司推出的P-100光發射顯微鏡(EMMI),在同業中具有超高的性價比,并憑借良好的售后服務,迅速占領市場.目前大中國地區的知名失效分析客戶有: 上海宜碩、深圳宜智發、上海閎康、上海礬詮、廣州五所、北京電科院、東南大學、樂山菲尼克斯、深圳明微。。。。。。 

                    Junction Leakage                                  Oxide Leakage

                       ESD Damage                        Avalanche-20x Backside Image

 

                      Poly Filaments                              Backside Observation 

 

System 
Composition

Items

Specification

camera

Cooling CCD Camera

   

Cooling Silicon CCD

-65 ℃ ",Forced Air  +4 stage Peltier Cooling

Pixelsize

24umx24um

Resoluiion

512 x512

High QE 

UV~NIR

QE At 1000nm 

>=20%

Dual Read Out Mode

Fast Scan Mode 2.5MHZ /Pixel

Slow Scan Mode (High Sensitivity) 0.156MHz/Pixel

Dark Current

<=0.17 electron/pixel/s

Readout noise

7 electron(r.m.s)

Dynamic range

32875:1

A/D Converter

16 bit

Readout/control Interface

IEEE 1394

Exposure Time

20ms~7200s

Contrast enhancement

Max 16 x

Microscope

High Presicion Motorized XYZStage

 

Stage Resolution

0.1um

 Accuracy

±1um

X Stroke (Moving Range)

>50mm

Y Stroke(Moving Range

>30 mm

Z Stroke

>100mm

Motorized Lens Changer With Optics 
Axis Correction Screws For Each 
Lens Position

4 holes/RS232 Control Interface

Light Box

Dual Light Source(Visible ,NIR)Auto Switch

NIR Light Transmission

>70%

NIR Lens 

2.5x,5x,20x,100x

Eyepieces

10x

Control Console

X/Y/Z/Lens Change/Light Adjust

Auto Lens Alighment

Accuracy<5um

Pattern/Emission Optics Switch

 

InGaAs camera

冷卻方式

cooling down to -70攝氏度

偵測波長范圍

900~1700nm

解析度

320*256(軟件能力640*512)

QE Range

[email protected]>70%

Pixel Size

30um*30um

High Gain

>300sec

 

 

Dark Box With 
Anti-Vinration 
Table

Inteligent Temperature Control Light 
Shiled Dark Box

 

High Stable Anti-Vibration Table 

 

請輸入您想要搜索的關鍵詞:

?
滬ICP備16044249號-1
qq欢乐斗地主外挂